Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Scanning probe lithography as perspective tool for hypersonic surface phononic crystal fabrication

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00957778 , version 1 (12-03-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00957778 , version 1

Citer

Anastasia Pavlova, Sergey Yankin. Scanning probe lithography as perspective tool for hypersonic surface phononic crystal fabrication. 16èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2013, 2013, Grenoble, France. papier 194, 3 p. ⟨hal-00957778⟩
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