Polycristalline silicon thin films for mems applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2002
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00954221 , version 1 (28-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00954221 , version 1

Citer

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan. Polycristalline silicon thin films for mems applications. EMRS 2002, Jun 2002, Strasbourg, France. ⟨hal-00954221⟩
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