Communication Dans Un Congrès
Année : 2002
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00954221
Soumis le : vendredi 28 février 2014-17:01:56
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00954221 , version 1
Citer
H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan. Polycristalline silicon thin films for mems applications. EMRS 2002, Jun 2002, Strasbourg, France. ⟨hal-00954221⟩
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