Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00946648
Soumis le : jeudi 13 février 2014-18:56:03
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00946648 , version 1
Citer
M. Pons, R. Boichot, N. Coudurier, A. Claudel, E. Blanquet, et al.. High temperature chemical vapor deposition of aluminum nitride, growth and evaluation. European Conference on Chemical Vapor Deposition, EUROCVD19, 2013, Varna, Bulgaria. ⟨hal-00946648⟩
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