Communication Dans Un Congrès
Année : 2001
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00944972
Soumis le : mardi 11 février 2014-15:07:11
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:34:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00944972 , version 1
Citer
S. Banna, A. Agarwal, T. Lill, Maxime Darnon, G. Cunge, et al.. Time−Modulation of High density Plasmas for Advanced Dry Etching Processes. 4th PESM workshop, May 2001, Belgium. ⟨hal-00944972⟩
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