Autre Publication Scientifique
Année : 2003
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00930053
Soumis le : mardi 14 janvier 2014-11:37:16
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58
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Identifiants
- HAL Id : hal-00930053 , version 1
Citer
Sonia Vigneron, Xavier Castel, Gérard Legeay, Jacques Pinel. Microtechnologie de l'oxyde semiconducteur ITO en couche mince. 2003. ⟨hal-00930053⟩
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