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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00925763 , version 1 (08-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00925763 , version 1

Citer

G. Cunge, Maxime Darnon, M. Brihoum, E. Despiau-Pujo, A. Davydova, et al.. Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes. AVS 60h international symposium, Oct 2013, Long Beach, United States. ⟨hal-00925763⟩
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