Optical and Electrical Diagnostics of Pulsed Plasmas Etching Processes
G. Cunge
(1)
,
Maxime Darnon
(1)
,
M. Brihoum
(1)
,
E. Despiau-Pujo
(1)
,
A. Davydova
(1)
,
P. Brichon
(1)
,
R. Blanc
(1)
,
M. Haass
,
C. Petit Etienne
(1)
,
E. Pargon
(1)
,
O. Joubert
(1)
,
N. Sadeghi
,
N.St. Braithwaite
,
D. Gahan
,
S. Banna
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
E. Despiau-Pujo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754756
- IdHAL : emilie-despiau-pujo
- ORCID : 0000-0002-7761-6343
- IdRef : 142894265
M. Haass
- Fonction : Auteur
C. Petit Etienne
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745766
- IdHAL : camille-petit-etienne
E. Pargon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180469
- IdHAL : erwine-pargon
- ORCID : 0000-0002-6337-9180
N. Sadeghi
- Fonction : Auteur
N.St. Braithwaite
- Fonction : Auteur
D. Gahan
- Fonction : Auteur
S. Banna
- Fonction : Auteur