Transistors à grille suspendue en silicium polycristallin : Influence de la couche sacrificielle sur le maintien mécanique et sur le procédé de fabrication. Application comme capteurs actifs d'ambiance - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Transistors à grille suspendue en silicium polycristallin : Influence de la couche sacrificielle sur le maintien mécanique et sur le procédé de fabrication. Application comme capteurs actifs d'ambiance

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00921451 , version 1 (20-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00921451 , version 1

Citer

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, Nathalie . Coulon, Olivier Bonnaud. Transistors à grille suspendue en silicium polycristallin : Influence de la couche sacrificielle sur le maintien mécanique et sur le procédé de fabrication. Application comme capteurs actifs d'ambiance. Journées RMNT, Nov 2003, Lille, France. ⟨hal-00921451⟩
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