Control of the Weak Phosphorus Doping in Polysilicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00919741 , version 1 (17-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00919741 , version 1

Citer

Mariem Zaghdoudi, M.N. Abdelkrim, M. Fathallah, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan. Control of the Weak Phosphorus Doping in Polysilicon. International Meeting on Applied Physics (APHYS 2003), Oct 2003, Badajoz, Spain. ⟨hal-00919741⟩
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