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Communication Dans Un Congrès Année : 2003

High performance polysilicon air-gap thin film transistor on low temperature substrates

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00917784 , version 1 (12-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00917784 , version 1

Citer

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, Nathalie . Coulon, Olivier Bonnaud, et al.. High performance polysilicon air-gap thin film transistor on low temperature substrates. Proceedings of SPIE Smart Sensors, Actuators, and MEMS, May 2003, Maspolomas, Spain. pp.168-175. ⟨hal-00917784⟩
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