Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2008
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00915445 , version 1 (07-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00915445 , version 1

Citer

P. Roca I Cabarrocas, Pavel Bulkin, D. Daineka, T. H. Dao, P. Leempoel, et al.. Advances in the deposition of microcrystalline silicon at high rate by distributed electron cyclotron resonance. Thin Solid Films, 2008, pp.6834-6838. ⟨hal-00915445⟩
140 Consultations
0 Téléchargements

Partager

  • More