Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 1996
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https://hal.science/hal-00915386
Soumis le : samedi 7 décembre 2013-17:24:18
Dernière modification le : vendredi 21 novembre 2025-14:50:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00915386 , version 1
Citer
M. Kildemo, S. Deniau, Pavel Bulkin, Bernard Drévillon. Real time control of the growth of silicon alloy multilayers by multiwavelength ellipsometry. Thin Solid Films, 1996, pp.46-50. ⟨hal-00915386⟩
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