Communication Dans Un Congrès
Année : 2003
Pavel Bulkin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00914161
Soumis le : mercredi 4 décembre 2013-23:02:21
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00914161 , version 1
Citer
Gabriel Girard, D. Daineka, Pavel Bulkin, J.E. Bouree. Matrix-distributed ECR-PECVD for high-rate deposition of silica for applications in integrated optics. Proc. SPIE 4944, 2003, Belgium. pp.62. ⟨hal-00914161⟩
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