Article Dans Une Revue
physica status solidi (c)
Année : 2010
Pavel Bulkin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00913544
Soumis le : mardi 3 décembre 2013-22:16:03
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00913544 , version 1
Citer
S. K. Ram, Laurent Kroely, Samir Kasouit, Pavel Bulkin, P. Roca I Cabarrocas. Plasma emission diagnostics during fast deposition of microcrystalline silicon thin films in matrix distributed electron cyclotron resonance plasma CVD system. physica status solidi (c), 2010, pp.553-556. ⟨hal-00913544⟩
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