Polycrystalline silicon thin films for MEMS applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2003

Polycrystalline silicon thin films for MEMS applications

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00913044 , version 1 (03-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00913044 , version 1

Citer

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan, Mimoun El Marssi. Polycrystalline silicon thin films for MEMS applications. Thin Solid Films, 2003, 427, pp.422-426. ⟨hal-00913044⟩
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