Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2003
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00913044
Soumis le : mardi 3 décembre 2013-10:37:00
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00913044 , version 1
Citer
H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan, Mimoun El Marssi. Polycrystalline silicon thin films for MEMS applications. Thin Solid Films, 2003, 427, pp.422-426. ⟨hal-00913044⟩
Collections
218
Consultations
0
Téléchargements