Air-gap polycrystalline silicon thin films transistor for fully integrated sensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue IEEE Electron Device Letters Année : 2003

Air-gap polycrystalline silicon thin films transistor for fully integrated sensors

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00913037 , version 1 (03-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00913037 , version 1

Citer

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, Olivier Bonnaud. Air-gap polycrystalline silicon thin films transistor for fully integrated sensors. IEEE Electron Device Letters, 2003, 24 (3), pp.165-167. ⟨hal-00913037⟩
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