Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00908484
Soumis le : samedi 23 novembre 2013-16:22:48
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00908484 , version 1
Citer
F. Piallat, R. Gassilloud, P. Caubet, B. Pelissier, Cédric Leroux, et al.. Reduction of Oxygen Content in Thin PVD-TiN Film and Improvement of Electrical Characteristics by Covering it with PEALD-TaCN. 2013 MRS Spring Meeting, 2013, San Francisco, United States. ⟨hal-00908484⟩
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