Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron
Résumé
Ce papier présente deux méthodes spécifiques de caractérisations diélectriques de couches minces déposées sur des substrats. L'une emploie deux résonateurs diélectriques, placés en regard à l'intérieur d'une cavité métallique cylindrique et l'autre est basée sur l'utilisation de cavités Klystron. Les mesures des perturbations des fréquences de résonance et facteurs de qualité à vide lors de l'introduction des échantillons à caractériser permettent à l'aide de logiciel de simulation électromagnétique de déterminer les permittivités et tangentes de pertes.