Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron

Valérie Madrangeas
Dominique Cros
Michel Aubourg
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915586
Damien Passerieux
Jean-Michel Le Floch
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 948749

Résumé

Ce papier présente deux méthodes spécifiques de caractérisations diélectriques de couches minces déposées sur des substrats. L'une emploie deux résonateurs diélectriques, placés en regard à l'intérieur d'une cavité métallique cylindrique et l'autre est basée sur l'utilisation de cavités Klystron. Les mesures des perturbations des fréquences de résonance et facteurs de qualité à vide lors de l'introduction des échantillons à caractériser permettent à l'aide de logiciel de simulation électromagnétique de déterminer les permittivités et tangentes de pertes.
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00907458 , version 1 (21-11-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00907458 , version 1

Citer

Valérie Madrangeas, Dominique Cros, Michel Aubourg, Damien Passerieux, Jean-Michel Le Floch, et al.. Caractérisation non destructive de couches minces à l'aide d'une cavité Klystron. Troisième colloque francophone PLUridisciplinaire sur les Matériaux, l'Environnement et l'Electronique (PLUMEE 2013), May 2013, Bacau, Roumanie. pp.ISSN - ISSN-L : 2343-9092. ⟨hal-00907458⟩

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