Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00904431
Soumis le : jeudi 14 novembre 2013-14:50:44
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:38
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00904431 , version 1
Citer
P. Brichon, E. Despiau-Pujo, G. Cunge, Maxime Darnon, O. Joubert. MD Simulations of Pulsed Chlorine Plasmas Interaction with Ultrathin Silicon Films for Advanced Etch Processes. American Vacuum Society 60th International Symposium, Oct 2013, Long beach, United States. ⟨hal-00904431⟩
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