Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
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https://hal.science/hal-00878891
Soumis le : jeudi 31 octobre 2013-10:43:08
Dernière modification le : mardi 26 mars 2024-15:22:16
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00878891 , version 1
Citer
Adriana Annusova, Corinne Foissac, Pavel Veis, Philippe Supiot. Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés. Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais, 2013, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00878891⟩
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