Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00878891 , version 1 (31-10-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00878891 , version 1

Citer

Adriana Annusova, Corinne Foissac, Pavel Veis, Philippe Supiot. Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés. Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais, 2013, Villeneuve d'Ascq, France. ⟨hal-00878891⟩
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