Epitaxial growth of AlN thin films at low temperature by magnetron sputtering technique
Julien Camus
(1)
,
Quentin Simon
(2)
,
Keltouma Aït Aïssa
(1)
,
Salma Bensalem
,
Laurent Le Brizoual
(3)
,
Gilles Tessier
(4)
,
Yves Scudeller
(1)
,
Mohamed Abdou Djouadi
(1)
,
Yvon Cordier
(5)
,
Éric Frayssinet
(5)
,
Jean-Claude de Jaeger
(6)
,
Magdalena Chmielowska
(5)
,
Maud Nemoz
(5)
,
Philippe Vennéguès
(5)
,
Sébastien Chenot
(5)
,
Nicolas Defrance
(6, 7)
,
Marie Lesecq
(6, 7)
,
Philippe Altuntas
(6)
,
Adrien Cutivet
(6, 8, 7)
,
Alain Agboton
(6)
1
IMN -
Institut des Matériaux Jean Rouxel
2 Unipd - Università degli Studi di Padova = University of Padua
3 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
4 Laboratoire Photons Et Matière
5 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
7 PUISSANCE - IEMN - Puissance - IEMN
8 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
2 Unipd - Università degli Studi di Padova = University of Padua
3 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
4 Laboratoire Photons Et Matière
5 CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
6 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
7 PUISSANCE - IEMN - Puissance - IEMN
8 LN2 - Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke]
Quentin Simon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20651
- IdHAL : quentin-simon3
- ORCID : 0000-0002-3670-4654
- IdRef : 139508759
Salma Bensalem
- Fonction : Auteur
Gilles Tessier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1164522
- IdHAL : gilles-tessier
- ORCID : 0000-0003-3558-925X
- IdRef : 162143095
Yvon Cordier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750365
- IdHAL : yvon-cordier
- ORCID : 0000-0003-3720-9409
- IdRef : 128170794
Éric Frayssinet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1034940
- ORCID : 0000-0003-3900-8440
Jean-Claude de Jaeger
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747322
- IdHAL : jean-claude-dejaeger
Maud Nemoz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 973589
Philippe Vennéguès
- Fonction : Auteur
- PersonId : 874714
Sébastien Chenot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1103218
Nicolas Defrance
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747240
- IdHAL : nicolas-defrance
- ORCID : 0000-0002-3944-9652
Marie Lesecq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 746612
- IdHAL : marie-lesecq
- ORCID : 0000-0002-3735-1790
- IdRef : 120565455
Philippe Altuntas
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1103220