Setting a Tutorial on Thermal Polysilicon-Based Suspensed Actuator Using Surface Microtechnology - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00870788 , version 1 (08-10-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00870788 , version 1

Citer

Anne-Claire Salaün, H. Mahfoz-Kotb, Nathalie . Coulon, Regis Rogel, Tayeb Mohammed-Brahim, et al.. Setting a Tutorial on Thermal Polysilicon-Based Suspensed Actuator Using Surface Microtechnology. EWME 2004 5th European Workshop on Microelectronics Education, Apr 2004, Lausanne, Switzerland. ⟨hal-00870788⟩
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