Solid phase post-treatment of polysilicon films by a continuous argon laser - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2004
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00870429 , version 1 (07-10-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00870429 , version 1

Citer

Jean-François Michaud, Regis Rogel, Tayeb Mohammed-Brahim, Michel Sarret, Olivier Bonnaud. Solid phase post-treatment of polysilicon films by a continuous argon laser. POLYSE 2004, Sep 2004, Potdam, Germany. ⟨hal-00870429⟩
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