Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00860925
Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-14:41:01
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:22:33
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00860925 , version 1
Citer
Maxime Darnon, M. Haass, M. Brihoum, G. Cunge, S. Banna, et al.. Pulsed plasmas: from plasma parameters to pattern transfer. Plasma Etch and Strip in Microtechnologies conference, 2013, leuven, Belgium. ⟨hal-00860925⟩
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