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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Pulsed plasmas: from plasma parameters to pattern transfer

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00860925 , version 1 (11-09-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00860925 , version 1

Citer

Maxime Darnon, M. Haass, M. Brihoum, G. Cunge, S. Banna, et al.. Pulsed plasmas: from plasma parameters to pattern transfer. Plasma Etch and Strip in Microtechnologies conference, 2013, leuven, Belgium. ⟨hal-00860925⟩
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