Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2013

Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS)

H. Tanbakuchi
  • Fonction : Auteur
D. Theron
D. Ducatteau
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00846338 , version 1 (19-07-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00846338 , version 1

Citer

H. Tanbakuchi, Bernard Legrand, D. Theron, D. Ducatteau. Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS). N° de brevet: FR2985251 (A1). 2013. ⟨hal-00846338⟩
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