Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS) - Archive ouverte HAL
Brevet Année : 2013

Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS)

H. Tanbakuchi
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
D. Theron
D. Ducatteau
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00846338

Soumis le : vendredi 19 juillet 2013-08:16:20

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00846338 , version 1 (19-07-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00846338 , version 1

Citer

H. Tanbakuchi, Bernard Legrand, D. Theron, D. Ducatteau. Système pour détecter des réponses d'un dispositif résonateur micro-électromécanique (MEMS). N° de brevet: FR2985251 (A1). 2013. ⟨hal-00846338⟩

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