Radio Frequency Diagnostics of Microplasmas
Lawrence J. Overzet
(1)
,
Matthew Goeckner
(2)
,
Remi Dussart
(3)
,
Philippe Lefaucheux
(3)
,
Valentin Félix
(4)
,
Mukesh Kulsreshath
(3)
,
Judith Golda
(5)
,
V. Schulz-von Der Gathen
(5)
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart
Philippe Lefaucheux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 874204
Valentin Félix
- Fonction : Auteur
- PersonId : 926309
Mukesh Kulsreshath
- Fonction : Auteur
- PersonId : 871588