Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00831360
Soumis le : jeudi 6 juin 2013-17:58:21
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00831360 , version 1
Citer
Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Remi Dussart. Deep etching processes for silicon micro- and nano-machining. Le Studium workshop : Bottom-up approaches to nanotechnology, May 2013, Orléans, France. ⟨hal-00831360⟩
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