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Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Deep etching processes for silicon micro- and nano-machining

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00831360 , version 1 (06-06-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00831360 , version 1

Citer

Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Remi Dussart. Deep etching processes for silicon micro- and nano-machining. Le Studium workshop : Bottom-up approaches to nanotechnology, May 2013, Orléans, France. ⟨hal-00831360⟩
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