Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00831346
Soumis le : jeudi 6 juin 2013-17:34:00
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00831346 , version 1
Citer
Remi Dussart, Julien Ladroue, Thomas Tillocher, Mohamed Boufnichel, Nicolas Gosset, et al.. Deep etching of gallium nitride by chlorine based plasma. Journées Nationales des Technologies Emergentes, May 2013, Evian, France. ⟨hal-00831346⟩
Collections
45
Consultations
0
Téléchargements