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Communication Dans Un Congrès International Workshop−CVD−Diagnostic−Modeling Année : 2012

Deposition of nanostructures by Atomic Layer Deposition

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00812216 , version 1 (11-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00812216 , version 1

Citer

E. Blanquet, A. Mantoux, R. Boichot, M. Pons. Deposition of nanostructures by Atomic Layer Deposition. International Workshop−CVD−Diagnostic−Modeling, Jun 2012, Nancy, France. ⟨hal-00812216⟩
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