Communication Dans Un Congrès
International Workshop−CVD−Diagnostic−Modeling
Année : 2012
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00812216
Soumis le : jeudi 11 avril 2013-20:03:45
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00812216 , version 1
Citer
E. Blanquet, A. Mantoux, R. Boichot, M. Pons. Deposition of nanostructures by Atomic Layer Deposition. International Workshop−CVD−Diagnostic−Modeling, Jun 2012, Nancy, France. ⟨hal-00812216⟩
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