Micro-cantilevers pressure sensors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Micro-cantilevers pressure sensors

V. Mortet
  • Fonction : Auteur
A. Soltani
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
J. Potmesil
  • Fonction : Auteur
K. Haenen
  • Fonction : Auteur
M. d'Olieslaeger
  • Fonction : Auteur
Abdelkrim Talbi
M. Vanecek
  • Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00811734

Soumis le : jeudi 11 avril 2013-09:21:33

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00811734 , version 1 (11-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00811734 , version 1

Citer

V. Mortet, A. Soltani, J. Potmesil, K. Haenen, M. d'Olieslaeger, et al.. Micro-cantilevers pressure sensors. International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008, NMC 2008, 2008, Mainz, Germany. ⟨hal-00811734⟩

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