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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications

Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
L. Buchaillot
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00808200 , version 1 (05-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00808200 , version 1

Citer

Z. Xiong, B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, L. Buchaillot, et al.. Conception and fabrication of silicon ring resonator with piezo-resistive detection for force sensing applications. 5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France. ⟨hal-00808200⟩
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