Atomic force probe using silicon ring resonator conception - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Atomic force probe using silicon ring resonator conception

B. Walter
  • Fonction : Auteur
E. Mairiaux
  • Fonction : Auteur
M. Faucher
Z. Xiong
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Bernard Legrand
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00808199

Soumis le : vendredi 5 avril 2013-09:45:13

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00808199 , version 1 (05-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00808199 , version 1

Citer

B. Walter, E. Mairiaux, M. Faucher, Z. Xiong, L. Buchaillot, et al.. Atomic force probe using silicon ring resonator conception. 5èmes Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, 2010, Lyon, France. ⟨hal-00808199⟩

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