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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

[Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00808178 , version 1 (05-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00808178 , version 1

Citer

Philippe Pernod. [Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS. 5èmes Journées Nationales du GdR Micro et Nano Systèmes, 2010, Ecully, France. ⟨hal-00808178⟩
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