Conference Papers
Year : 2010
Collection IEMN : Connect in order to contact the contributor
https://hal.science/hal-00808178
Submitted on : Friday, April 5, 2013-9:18:03 AM
Last modification on : Wednesday, January 24, 2024-9:54:18 AM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-00808178 , version 1
Cite
Philippe Pernod. [Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS. 5èmes Journées Nationales du GdR Micro et Nano Systèmes, 2010, Ecully, France. ⟨hal-00808178⟩
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