[Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS - Archive ouverte HAL Access content directly
Conference Papers Year : 2010

[Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS

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Dates and versions

hal-00808178 , version 1 (05-04-2013)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00808178 , version 1

Cite

Philippe Pernod. [Invité] Intégration de nouveaux matériaux actifs dans les MEMS. 5èmes Journées Nationales du GdR Micro et Nano Systèmes, 2010, Ecully, France. ⟨hal-00808178⟩
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