TaOx/SiO2 insulating acoustic mirrors for AlN-based X-band BAW resonators - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

TaOx/SiO2 insulating acoustic mirrors for AlN-based X-band BAW resonators

J. Capilla
  • Fonction : Auteur
J. Olivares
  • Fonction : Auteur
M. Clement
  • Fonction : Auteur
J. Sangrador
  • Fonction : Auteur
E. Iborra
  • Fonction : Auteur
V. Felmetsger
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00800103 , version 1 (13-03-2013)

Identifiants

Citer

J. Capilla, J. Olivares, M. Clement, J. Sangrador, E. Iborra, et al.. TaOx/SiO2 insulating acoustic mirrors for AlN-based X-band BAW resonators. IEEE International Ultrasonics Symposium, IUS 2011, 2011, Orlando, FL, United States. pp.1704-1707, ⟨10.1109/ULTSYM.2011.0425⟩. ⟨hal-00800103⟩
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