Article Dans Une Revue
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control
Année : 2012
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https://hal.science/hal-00788342
Soumis le : jeudi 14 février 2013-11:42:54
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
S. Guillon, Daisuke Saya, L. Mazenq, J. Costecalde, Denis Remiens, et al.. Lead zirconate titanate nanoscale patterning by ultraviolet-based lithography lift-off technique for nano-electromechanical system applications. IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, 2012, 59, pp.1955-1961. ⟨10.1109/TUFFC.2012.2413⟩. ⟨hal-00788342⟩
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