Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00778025
Soumis le : vendredi 18 janvier 2013-15:26:29
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:10
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00778025 , version 1
Citer
J. H. Choi, L. Latu-Romain, Edwige Bano, A. Henry, W. J. Lee. Comparative study on dry ICP etching of α- and β-SiC nano-pillars. ECSCRM (European Conference on Silicon Carbide and Related Materials), Sep 2012, Saint Petersbourg, Russia. ⟨hal-00778025⟩
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