Study of mechanical maintain of polysilicon air-gap structures used in PH sensing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00773096 , version 1 (11-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00773096 , version 1

Citer

F. Bendriaa, France Le Bihan, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, Olivier Bonnaud. Study of mechanical maintain of polysilicon air-gap structures used in PH sensing. ICAN'2005, Sep 2005, Lisbonne, Portugal. ⟨hal-00773096⟩
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