Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00773096
Soumis le : vendredi 11 janvier 2013-15:47:11
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00773096 , version 1
Citer
F. Bendriaa, France Le Bihan, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, Olivier Bonnaud. Study of mechanical maintain of polysilicon air-gap structures used in PH sensing. ICAN'2005, Sep 2005, Lisbonne, Portugal. ⟨hal-00773096⟩
Collections
56
Consultations
0
Téléchargements