Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00696419
Soumis le : vendredi 11 mai 2012-16:18:07
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00696419 , version 1
Citer
Julien Ladroue, Mohamed Boufnichel, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson, et al.. Obtaining a smooth surface after deep GaN etching. 18th International Colloquium on Plasma Processes (CIP), Jul 2011, Nantes, France. ⟨hal-00696419⟩
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