Evaluation of plasma parameters on PEALD deposited TACN
F. Piallat
(1)
,
V. Beugin
,
R. Gassilloud
,
P. Michallon
(2)
,
L. Dussault
(1)
,
B. Pelissier
(1)
,
T. Asikainen
,
J.W. Maes
,
Pascal Morin
,
Corentin Vallée
(1)
V. Beugin
- Fonction : Auteur
R. Gassilloud
- Fonction : Auteur
T. Asikainen
- Fonction : Auteur
J.W. Maes
- Fonction : Auteur
Pascal Morin
- Fonction : Auteur