Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2009

Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

Catherine Cardon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00669223

Soumis le : dimanche 12 février 2012-13:31:00

Dernière modification le : dimanche 6 octobre 2024-14:44:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00669223 , version 1 (12-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00669223 , version 1

Citer

L. Marques, C. D. Pintassilgo, Grégoire Alcouffe, Guy Cernogora, L. L. Alves. Modelling of capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen. 17th CIP (International Colloquium on Plasma Processes), Jun 2009, Marseille, France. ⟨hal-00669223⟩

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