Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
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https://hal.science/hal-00642323
Soumis le : jeudi 17 novembre 2011-19:29:23
Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:26:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00642323 , version 1
Citer
Pascal Brault, Anne-Lise Thomann, Amaël Caillard. Plasma sputter deposition of Aluminum onto micropatterned silicon substrates: Experiments and molecular dynamics simulations. ITFPC-MIATEC 2011, Nov 2011, France. http://vide.org/itfpc-miatec2011/fileadmin/document/ITFPC-MIATEC_program_oral.pdf. ⟨hal-00642323⟩
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