Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Laurent Gallais : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00640871
Soumis le : lundi 14 novembre 2011-13:39:10
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:55
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00640871 , version 1
Citer
Alexandre Vauselle, P. Maillot, Gaelle Georges, Carole Deumie. Micro Roughness Determination Of Periodic Microelectronics Structures Using Optical Far Field Measurements. Frontiers of Characterization and Metrology for nanoelectronics, 2011, grenoble, France. pp.314. ⟨hal-00640871⟩
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