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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Micro Roughness Determination Of Periodic Microelectronics Structures Using Optical Far Field Measurements

Alexandre Vauselle
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 863587
P. Maillot
  • Fonction : Auteur
Gaelle Georges
Carole Deumie
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 834007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00640871 , version 1 (14-11-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00640871 , version 1

Citer

Alexandre Vauselle, P. Maillot, Gaelle Georges, Carole Deumie. Micro Roughness Determination Of Periodic Microelectronics Structures Using Optical Far Field Measurements. Frontiers of Characterization and Metrology for nanoelectronics, 2011, grenoble, France. pp.314. ⟨hal-00640871⟩
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