Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00640870
Soumis le : lundi 14 novembre 2011-13:37:05
Dernière modification le : mardi 29 avril 2025-13:20:42
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00640870 , version 1
Citer
Alexandre Vauselle, P. Maillot, Gaelle Georges, Carole Deumié. Optical far field measurements applied to microroughness determination of periodic microelectronic structures. Advanced Lithography, 2011, san jose, United States. pp.797112. ⟨hal-00640870⟩
Collections
96
Consultations
0
Téléchargements