Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Interest of synchronized pulsed plasmas for next CMOS technologies

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00625345 , version 1 (21-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00625345 , version 1

Citer

O. Joubert, Maxime Darnon, G. Cunge, E. Pargon, L. Vallier, et al.. Interest of synchronized pulsed plasmas for next CMOS technologies. China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 2011, Mar 2011, Shanghaï, China. ⟨hal-00625345⟩
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