AlN thin films deposited by pulsed laser deposition (PLD) for microelectronic devices
Perrine Dutheil
(1)
,
Corinne Champeaux
(1)
,
Gilles Trolliard
(2)
,
Jean-Christophe Orlianges
(1)
,
Matthieu Chatras
(3)
,
Aurelian Crunteanu
(3)
,
Alain Catherinot
(1)
Corinne Champeaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 965
- IdHAL : corinnechampeaux
- ORCID : 0000-0003-0953-2591
- IdRef : 078012260
Gilles Trolliard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16334
- IdHAL : gilles-trolliard
- IdRef : 127468714
Jean-Christophe Orlianges
- Fonction : Auteur
- PersonId : 972
- IdHAL : j-c-orlianges
Matthieu Chatras
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6234
- IdHAL : matthieu-chatras
- IdRef : 083957979
Aurelian Crunteanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6267
- IdHAL : aurelian-crunteanu
- ORCID : 0000-0001-8648-5368
- IdRef : 070472173