Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Yannick Champion : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00610224
Soumis le : jeudi 21 juillet 2011-13:37:00
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00610224 , version 1
Citer
M. Verdier. Nanoindentation and contact resonant AFM applied to tailored ULK porous films.. IEEE International Interconnect Technology Conf.-IITC / Materials for Advanced Metallization-MAM, May 2011, DRESDE, Germany. ⟨hal-00610224⟩
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