Dielectric oxynitride laTiOxNy thin films
Viet Hung Nguyen
(1, 2)
,
Ahmed Ziani
(2)
,
Ratiba Benzerga
(2)
,
Claire Le Paven-Thivet
(2)
,
Didier Fasquelle
(3)
,
Yu Lu
(2)
,
Laurent Le Gendre
(4)
,
Xavier Castel
(2)
,
Christophe Delaveaud
(1)
,
Franck Tessier
(5)
,
François Cheviré
(5)
,
Ala Sharaiha
(4)
,
Jean-Claude Carru
(3)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 UDSMM - Unité de Dynamique et Structure des Matériaux Moléculaires
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 UDSMM - Unité de Dynamique et Structure des Matériaux Moléculaires
4 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
5 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
Ratiba Benzerga
- Fonction : Auteur
- PersonId : 835208
- ORCID : 0000-0002-5755-0041
Didier Fasquelle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1389508
- ORCID : 0000-0002-1947-1860
- IdRef : 07780287X
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Christophe Delaveaud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 844433
Franck Tessier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 9235
- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459
François Cheviré
- Fonction : Auteur
- PersonId : 5145
- IdHAL : francois-chevire
- ORCID : 0000-0002-5605-6113
- IdRef : 082987386
Jean-Claude Carru
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1192876
- ORCID : 0000-0003-0157-4519
- IdRef : 056755147