Relationship between mobility and high-k interface properties in advanced Si and SiGe nanowires
K. Tachi
,
M. Casse
(1)
,
D. Jang
,
C. Dupré
,
A. Hubert
(2)
,
N. Vulliet
,
C. Maffini-Alvaro
,
C. Vizioz
,
C. Carabasse
(3)
,
V. Delaye
(3)
,
J. M. Hartmann
,
G. Ghibaudo
(4)
,
H. Iwai
,
S. Cristoloveanu
(4)
,
O. Faynot
(5)
,
T. Ernst
(5)
1
DAPNIA -
Département d'Astrophysique, de physique des Particules, de physique Nucléaire et de l'Instrumentation Associée
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
K. Tachi
- Fonction : Auteur
D. Jang
- Fonction : Auteur
C. Dupré
- Fonction : Auteur
N. Vulliet
- Fonction : Auteur
C. Maffini-Alvaro
- Fonction : Auteur
C. Vizioz
- Fonction : Auteur
J. M. Hartmann
- Fonction : Auteur
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099
H. Iwai
- Fonction : Auteur
S. Cristoloveanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172108
- IdHAL : sorin-cristoloveanu
- ORCID : 0000-0002-3576-5586
- IdRef : 030493188