A stacked SONOS technology, up to 4 levels and 6nm crystalline nanowires, with gate-all-around or independent gates (Φ-Flash), suitable for full 3D integration.
A. Hubert
(1)
,
Emmanuel Nowak
(2)
,
K. Tachi
,
V. Maffini-Alvaro
,
C. Vizioz
,
C. Arvet
,
J.-P. Colonna
,
J.-M. Hartmann
(3)
,
V. Loup
(4)
,
L. Baud
,
S. Pauliac
,
V. Delaye
(5)
,
C. Carabasse
(5)
,
G. Molas
,
G. Ghibaudo
(6)
,
B. de Salvo
,
O. Faynot
(3)
,
T. Ernst
(3)
1
FEMTO-ST -
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 Bertin Technologies - Bertin Technologies
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
5 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
6 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 Bertin Technologies - Bertin Technologies
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
5 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
6 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
K. Tachi
- Fonction : Auteur
V. Maffini-Alvaro
- Fonction : Auteur
C. Vizioz
- Fonction : Auteur
C. Arvet
- Fonction : Auteur
J.-P. Colonna
- Fonction : Auteur
L. Baud
- Fonction : Auteur
S. Pauliac
- Fonction : Auteur
G. Molas
- Fonction : Auteur
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099
B. de Salvo
- Fonction : Auteur